设计理念
实现显微光学系统之不可能(同轴、高/低倍系统共享),提供高解晰光学。
适用性
优异现场式高效率高质量无段光学系统,适用于半导体检查及现场设备
及高反光表面;例如 : 晶圆、胶膜...等,提供高解晰和超高对比度影像。