設計理念
實現顯微光學系統之不可能(同軸、高/低倍系統共用),提供高解晰光學。
適用性
優異現場式高效率高品質無段光學系統,適用於半導體檢查及現場設備
及高反光表面;例如 : 晶圓、膠膜...等,提供高解晰和超高對比影像。